Feasibility of Antireflection and Passivation Coatings by Atmospheric Pressure PECVD - Agence De l'Environnement et de la Maîtrise de l'Énergie
Article Dans Une Revue Energy Procedia Année : 2014

Feasibility of Antireflection and Passivation Coatings by Atmospheric Pressure PECVD

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics] Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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Citer

José Silva, Anatolii Lukianov, Rémy Bazinette, Danièle Blanc-Pélissier, Julien Vallade, et al.. Feasibility of Antireflection and Passivation Coatings by Atmospheric Pressure PECVD. Energy Procedia, 2014, 55, pp.741-749. ⟨10.1016/j.egypro.2014.08.054⟩. ⟨hal-02063279⟩

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