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Communication dans un congrès

Step conformal solid electrolyte deposited by ALD on robust 3D silicon scaffold for on chip Li-ion microbattery

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-lille.fr/hal-02331833
Contributeur : Lilloa Université de Lille <>
Soumis le : jeudi 24 octobre 2019 - 15:03:13
Dernière modification le : lundi 2 mars 2020 - 13:38:08

Identifiants

  • HAL Id : hal-02331833, version 1

Citation

Manon Létiche, Étienne Eustache, Jeremy Freixas, Laurence Morgenroth, Pascal Tilmant, et al.. Step conformal solid electrolyte deposited by ALD on robust 3D silicon scaffold for on chip Li-ion microbattery. Material Research Society Spring Meeting (MRS Spring 2016), Mar 2016, Phoenix, United States. ⟨hal-02331833⟩

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