New insights in sputtered transition metal nitride films for on chip micro-supercapacitors
Kevin Robert
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Didier Stiévenard
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Saliha Ouendi
(1, 4)
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Camille Douard
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Pascal Roussel
(6)
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Thierry Brousse
(5)
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Christophe Lethien
(1, 2)
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IEMN -
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
2 CSAM - IEMN - Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN
3 PHYSIQUE - IEMN - Physique - IEMN
4 CMNF - IEMN - Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN
5 IMN - Institut des Matériaux Jean Rouxel
6 UCCS - Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181
2 CSAM - IEMN - Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN
3 PHYSIQUE - IEMN - Physique - IEMN
4 CMNF - IEMN - Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN
5 IMN - Institut des Matériaux Jean Rouxel
6 UCCS - Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181
Didier Stiévenard
- Fonction : Auteur
- PersonId : 747967
- IdHAL : didier-stievenard
Saliha Ouendi
- Fonction : Auteur
- PersonId : 742992
- IdHAL : saliha-ouendi
Pascal Roussel
- Fonction : Auteur
- PersonId : 9428
- IdHAL : pascalroussel
- ORCID : 0000-0001-7243-7293
- IdRef : 131004263
Thierry Brousse
- Fonction : Auteur
- PersonId : 781272
- ORCID : 0000-0002-1715-0377
- IdRef : 069260249
Christophe Lethien
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- Fonction : Auteur correspondant
- PersonId : 743109
- IdHAL : christophe-lethien
- ORCID : 0000-0001-8906-8308
- IdRef : 081909500
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