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New insights in sputtered transition metal nitride films for on chip micro-supercapacitors

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https://hal.univ-lille.fr/hal-02330714

Soumis le : jeudi 24 octobre 2019-10:25:54

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:13

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02330714 , version 1 (24-10-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02330714 , version 1

Citer

Kevin Robert, Didier Stiévenard, Saliha Ouendi, Camille Douard, Pascal Roussel, et al.. New insights in sputtered transition metal nitride films for on chip micro-supercapacitors. 236th Electrochemical Society Meeting (ECS236), Oct 2019, Atlanta, United States. ⟨hal-02330714⟩

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