Atomic Layer deposition of thin films materials for 3D solid state Li-ion microbattery

Manon Létiche Jeremy Freixas Étienne Eustache Arnaud Demortière Pascal Roussel 1 Thierry Brousse Christophe Lethien 2
1 UCCS - Unité de Catalyse et de Chimie du Solide - UMR 8181
2 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520
Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées
https://hal.univ-lille.fr/hal-02331363
Contributeur : Lilloa Université de Lille <>
Soumis le : jeudi 24 octobre 2019 - 12:57:55
Dernière modification le : vendredi 25 octobre 2019 - 14:34:09

Identifiants

  • HAL Id : hal-02331363, version 1

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Citation

Manon Létiche, Jeremy Freixas, Étienne Eustache, Arnaud Demortière, Pascal Roussel, et al.. Atomic Layer deposition of thin films materials for 3D solid state Li-ion microbattery. 11th Japan-France joint seminar on Batteries, Sep 2016, Nantes, France. ⟨hal-02331363⟩

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