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Communication dans un congrès
Atomic Layer deposition of thin films materials for 3D solid state Li-ion microbattery
Manon Létiche
Jeremy Freixas
Étienne Eustache
Arnaud Demortière
Pascal Roussel
1
Thierry Brousse
Christophe Lethien
2
Pascal Roussel 1
Mail :
Auteur IdHAL : pascalroussel ORCID : https://orcid.org/0000-0001-7243-7293 IdRef : https://www.idref.fr/131004263 ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/A-8578-2011
Thierry Brousse
Auteur
Christophe Lethien 2
Auteur
1
UCCS - Unité de Catalyse et de Chimie du Solide - UMR 8181 (Cité Scientifique - Bâtiment C3 59655 Villeneuve d'Ascq Cedex - France)
- Université de Lille (Lille - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8181 (France)
- ENSCL - Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Lille (Cité Scientifique Bât. C7 Avenue Mendeleïev CS 90108 59652 VILLENEUVE D’ASCQ CEDEX - France)
- Ecole Centrale de Lille (Cité Scientifique - CS 20048 59651 Villeneuve d'Ascq Cedex - France)
- UA - Université d'Artois (9 rue du Temple - BP 10665 - 62030 Arras cedex - France)
2
IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520 (Laboratoire Central – Cité Scientifique – Avenue Poincaré – CS 60069 – 59652 VILLENEUVE D’ASCQ CEDEX - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8520 (France)
- Université de Lille (Lille - France)
- UPHF - Université Polytechnique Hauts-de-France (Campus Mont Houy 59313 Valenciennes Cedex 9 - France)
- Ecole Centrale de Lille (Cité Scientifique - CS 20048 59651 Villeneuve d'Ascq Cedex - France)
- UPHF - Université Polytechnique Hauts-de-France (Campus Mont Houy 59313 Valenciennes Cedex 9 - France)
- Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN) (France)
Type de document :
Communication dans un congrès
Domaine :
Liste complète des métadonnées
https://hal.univ-lille.fr/hal-02331363
Contributeur : Lilloa Université de Lille <>
Soumis le : jeudi 24 octobre 2019 - 12:57:55
Dernière modification le : lundi 2 mars 2020 - 13:38:08
Contributeur : Lilloa Université de Lille <>
Soumis le : jeudi 24 octobre 2019 - 12:57:55
Dernière modification le : lundi 2 mars 2020 - 13:38:08
Identifiants
- HAL Id : hal-02331363, version 1
Collections
UNIV-LILLE | UCCS | CNRS | UNIV-VALENCIENNES | INC-CNRS | UNIV-ARTOIS
Citation
Manon Létiche, Jeremy Freixas, Étienne Eustache, Arnaud Demortière, Pascal Roussel, et al.. Atomic Layer deposition of thin films materials for 3D solid state Li-ion microbattery. 11th Japan-France joint seminar on Batteries, Sep 2016, Nantes, France. ⟨hal-02331363⟩
Métriques
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