Atomic Layer deposition of thin films materials for 3D solid state Li-ion microbattery - Université de Lille
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Atomic Layer deposition of thin films materials for 3D solid state Li-ion microbattery

Manon Létiche
  • Fonction : Auteur
Jeremy Freixas
  • Fonction : Auteur
Étienne Eustache
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1185535
Arnaud Demortière
Pascal Roussel
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181
CV
Thierry Brousse
Christophe Lethien
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV

Domaines

Chimie inorganique

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Soumis le : jeudi 24 octobre 2019-12:57:55

Dernière modification le : vendredi 31 mai 2024-15:10:03

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Dates et versions

hal-02331363 , version 1 (24-10-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02331363 , version 1

Citer

Manon Létiche, Jeremy Freixas, Étienne Eustache, Arnaud Demortière, Pascal Roussel, et al.. Atomic Layer deposition of thin films materials for 3D solid state Li-ion microbattery. 11th Japan-France joint seminar on Batteries, Sep 2016, Nantes, France. ⟨hal-02331363⟩

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