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Step conformal solid electrolyte deposited by ALD on robust 3D silicon scaffold for on chip Li-ion microbattery

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Chimie Chimie inorganique

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https://hal.univ-lille.fr/hal-02331833

Soumis le : jeudi 24 octobre 2019-15:03:13

Dernière modification le : mercredi 8 février 2023-17:11:09

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02331833 , version 1 (24-10-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02331833 , version 1

Citer

Manon Létiche, Étienne Eustache, Jeremy Freixas, Laurence Morgenroth, Pascal Tilmant, et al.. Step conformal solid electrolyte deposited by ALD on robust 3D silicon scaffold for on chip Li-ion microbattery. Material Research Society Spring Meeting (MRS Spring 2016), Mar 2016, Phoenix, United States. ⟨hal-02331833⟩

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