Step conformal solid electrolyte deposited by ALD on robust 3D silicon scaffold for on chip Li-ion microbattery - Université de Lille Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Step conformal solid electrolyte deposited by ALD on robust 3D silicon scaffold for on chip Li-ion microbattery

Domaines

Chimie inorganique

LillOA Université de Lille  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.univ-lille.fr/hal-02331833

Soumis le : jeudi 24 octobre 2019-15:03:13

Dernière modification le : lundi 6 novembre 2023-12:08:28

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02331833 , version 1 (24-10-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02331833 , version 1

Citer

Manon Létiche, Étienne Eustache, Jeremy Freixas, Laurence Morgenroth, Pascal Tilmant, et al.. Step conformal solid electrolyte deposited by ALD on robust 3D silicon scaffold for on chip Li-ion microbattery. Material Research Society Spring Meeting (MRS Spring 2016), Mar 2016, Phoenix, United States. ⟨hal-02331833⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

UNIV-ARTOIS CNRS UNIV-VALENCIENNES UCCS IEMN INC-CNRS UNIV-LILLE
36 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More